pengantar
Di Cina, penelitian dan pembuatan motor linier dapat ditelusuri kembali ke akhir 1950-an. Hal ini terutama didasarkan pada produk yang digunakan atau dikembangkan oleh perguruan tinggi dan universitas dan lembaga penelitian ilmiah untuk mempelajari beberapa perangkat; negara kita telah mulai memproduksi massal untuk motor linier dari akhir 1960-an hingga awal 1970-an, yang mulai digunakan di berbagai industri pada awal 1970-an; produksi dan penelitian motor linier telah mencapai terobosan dari pertengahan 1970-an hingga pertengahan 1980-an; produk jadi sedang dalam tahap pengembangan, dan motor listrik berkinerja tinggi varietas baru terus dikembangkan. Sejak pertengahan 1980-an, banyak penelitian telah dilakukan pada model motor linier yang akurat, dan berbagai motor dan penggerak linier hibrida telah banyak digunakan sebagai produk. Selama lebih dari 20 tahun, motor linier penggerak langsung telah meningkatkan kinerja secara signifikan dalam berbagai aplikasi, termasuk berbagai aplikasi industri berteknologi tinggi. Saat ini, teknologi penggerak langsung merupakan solusi canggih untuk produktivitas tinggi, presisi tinggi, dan kinerja dinamis alat berat modern.
Dalam kehidupan nyata, motor umum kita pada dasarnya adalah motor induksi dengan gerakan berputar, yang banyak digunakan dalam peralatan rumah tangga, mobil, peralatan industri, dan industri lainnya. Prinsip motor linier dapat dipahami sebagai motor induksi gerak berputar, dan memotongnya ke arah diameter, dan meratakannya menjadi motor linier. Mengambil motor induksi dari gerakan berputar sebagai referensi, dalam motor linier, ini setara dengan belitan stator dari motor yang berputar ( disebut primer); dan itu setara dengan motor berputar tupai rotor (disebut sekunder), dan permukaan sekunder dilengkapi dengan magnet permanen. Jika sekunder tetap, primer melewati arus bolak-balik dan bergerak dalam garis lurus sepanjang sekunder di bawah aksi gaya elektromagnetik. Di sisi lain,
Motor linier adalah motor sinkron tanpa sikat, dan motor linier umum adalah struktur datar atau struktur melingkar. Dengan interaksi induksi elektromagnetik antara primer (gulungan kumparan) dan sekunder (magnet permanen), energi listrik dapat diubah secara efisien menjadi energi mekanik gerak linier. Karena motor linier dapat menghasilkan gaya yang besar pada kecepatan rendah bahkan dalam keadaan diam, dalam definisi spesifikasi motor, gaya kontinu dan gaya puncak terutama ditentukan, daripada daya dan torsi seperti yang didefinisikan motor tradisional. Lubang pemasangan bagian yang bergerak dari motor linier datar dapat langsung dihubungkan ke beban mesin, yang dapat membuat mesin kompak, menyederhanakan desain struktur mesin, tanpa serangan balik, dan tidak akan memiliki bagian yang gagal dengan mekanisme transmisi lainnya, seperti sekrup bola panduan linier servo Tuas, kopling, sabuk atau bagian transmisi mekanis lainnya. Akhirnya, sistem gerak motor linier memiliki bandwidth yang lebih lebar dan kekakuan yang lebih tinggi, menghasilkan akurasi dan pengulangan yang tinggi pada kecepatan tinggi. Berdasarkan keunggulan di atas, motor linier dapat digunakan dan dikembangkan secara luas di berbagai industri besar.
Beberapa struktur umum motor linier
Motor linier inti besi, motor linier tanpa besi, motor linier tanpa slot, motor linier sumbu magnet (motor kumparan suara), motor linier berbentuk tabung.
Pengenalan Industri Semikonduktor
Dipengaruhi oleh ekonomi global dan epidemi, kekurangan keripik telah menjadi masalah penting di berbagai industri. Oleh karena itu, industri semikonduktor merupakan salah satu industri yang berkembang pesat dalam beberapa tahun terakhir, dan menjadi salah satu topik hangat dalam industri sains dan teknologi. Di bawah tren informasi global, industri informasi telah menjadi pilar industri yang sangat penting dari ekonomi global, dan industri semikonduktor setara dengan jantung industri informasi. Industri semikonduktor telah menjadi bagian penting dalam kehidupan masyarakat. Saat ini, komponen semikonduktor telah menjadi elemen yang sangat diperlukan dalam industri seperti mobil, peralatan rumah tangga, telepon seluler, dan peralatan cerdas industri.
Dari rangkuman berbagai informasi, diketahui bahwa bahan dan peralatan semikonduktor merupakan penunjang industri semikonduktor, dan telah menjadi prioritas utama dalam hubungan perdagangan internasional saat ini. Peralatan semikonduktor terkait dengan teknologi proses semikonduktor. Saat ini, teknologi proses yang relatif matang memiliki kapasitas produksi yang ketat. Diuntungkan dari permintaan yang kuat di bidang baru seperti data besar, teknologi 5G, mengemudi cerdas, kendaraan energi baru, dan AI, pasar manufaktur wafer memiliki pertumbuhan berlipat ganda, dan proses manufaktur canggih akan memainkan peran penting, sehingga memiliki permintaan yang lebih tinggi. pada peralatan semikonduktor.
Seluruh proses pemrosesan produk semikonduktor relatif kompleks, termasuk berbagai pemrosesan yang presisi, terutama termasuk pembuatan wafer (Front-End) dan pengujian pengemasan (Back-End). Dengan teknologi pengemasan yang canggih, hubungan pemrosesan antara manufaktur dan pengemasan disebut Middle-End.
Lini produksi wafer dapat dibagi menjadi tujuh area produksi independen: Proses Termal, Foto-litografi, Etch, Deposisi Dielektrik, CMP, Metalisasi.
Pengujian pengemasan (back-end) tradisional secara kasar dibagi menjadi delapan proses produksi, termasuk penipisan bagian belakang, pemotongan wafer, SMD, ikatan kawat, pencetakan, pelapisan listrik, pemotongan, pembentukan, dan pengujian akhir. Sederhana, tidak terlalu sulit secara teknis, dan tidak terlalu menuntut dibandingkan pembuatan wafer untuk lingkungan proses, peralatan, dan material.
Karena ada banyak langkah pemrosesan produk semikonduktor, sejumlah besar peralatan semikonduktor diperlukan dalam proses pembuatan, seperti mesin litografi, mesin etsa, pengemasan dan pengujian film plastik, mesin pengikat kawat, mesin pengikat mati dan mesin sortasi, dan mesin penandaan laser, mesin dicing, dll. Peralatan semikonduktor terus mengedepankan persyaratan yang lebih tinggi untuk kecepatan tinggi, presisi tinggi, performa tinggi, dan kecepatan tinggi; transmisi dan kontrolnya memiliki karakteristik dinamis dan akurasi kontrol yang lebih tinggi, kecepatan dan akselerasi yang lebih tinggi, dan keausan yang lebih rendah.
Oleh karena itu, motor linier presisi tinggi dan pengulangan yang tinggi lebih cocok untuk menjadi bagian penting dalam peralatan pemrosesan semikonduktor.
Penerapan Motor Linier
Motor linier telah diterapkan pada derajat yang berbeda di bidang pemrosesan dan manufaktur yang berbeda. Pada saat yang sama, mereka menyediakan lebih banyak pilihan proses untuk berbagai metode pemrosesan, secara langsung atau tidak langsung berpartisipasi dalam perubahan teknologi. Dengan kata lain, motor linier juga memenuhi kebutuhan industri semikonduktor, teknologi motor linier dapat meningkatkan kinerja peralatan semikonduktor. Industri semikonduktor telah memperkenalkan aplikasi motor linier untuk waktu yang lama karena karakteristik gerakan pemosisian dan rotasi yang sering. Peralatan semikonduktor dapat berisi tahap motor linier atau beberapa modul motor linier, sehingga dapat memenuhi instruksi operasi yang berbeda dan menyelesaikan produksi komponen semikonduktor.
Terutama Aplikasi:
1. Tahap sumbu XZ dalam mesin pemasangan presisi tinggi berkecepatan tinggi - Motor linier tipe-U digunakan untuk penentuan posisi sumbu X, dan motor kumparan suara digunakan untuk sumbu Z untuk mengambil dan menempatkan chip dengan cepat, sangat cocok untuk peralatan yang membutuhkan kontrol kekuatan. Penerapan motor linier dapat memenuhi persyaratan akselerasi tinggi, kecepatan tinggi, presisi tinggi, dan frekuensi tinggi.
2. Tahap sumbu XY dalam Die bonder adalah peralatan utama untuk proses pengemasan semikonduktor selanjutnya, yang mewujudkan pengambilan otomatis die dari wafer dan menempatkannya pada rangka timah. Karena persyaratan proses dan efisiensi, sumbu XY memiliki kecepatan gerak dan akselerasi yang sangat tinggi. Motor linier di kedua sisi digunakan untuk penentuan posisi sumbu X, dan posisi wafer digunakan untuk penentuan posisi sumbu Y.
3. Tahap sumbu XYZ dalam mesin pengikat kawat , sistem motor linier digunakan dalam mesin pengikat kawat yang memberikan gerakan kecepatan tinggi di sepanjang sumbu X, Y-aix, Z-aix yang berbeda, dan motor linier memiliki langkah panjang, yang dapat menyediakan platform ikatan kawat yang lebih besar untuk memenuhi berbagai kebutuhan pengelasan.
4 . Motor linier dan motor kumparan suara panggung benda kerja ganda dalam mesin litografi , motor linier adalah salah satu sistem inti dari mesin litografi, fungsi utamanya adalah membawa wafer untuk melakukan gerakan ultra-presisi berkecepatan tinggi sesuai dengan lintasan gerak yang ditentukan, termasuk bongkar muat, penyelarasan, pengukuran profil wafer dan eksposur, dll. Mesin litografi memiliki dua meja benda kerja, yaitu ada dua meja benda kerja yang membawa wafer dalam satu mesin litografi. Kedua meja benda kerja independen satu sama lain, tetapi dijalankan pada waktu yang sama. Ketika wafer pada satu meja benda kerja terbuka, meja benda kerja lainnya melakukan persiapan kerja sebelum paparan seperti pengukuran wafer. Saat pemaparan selesai, kedua meja benda kerja bertukar posisi dan fungsi, dan dengan demikian mencapai produktivitas tinggi dari mesin litografi dalam lingkaran.
Selain bidang aplikasi yang disebutkan di atas, motor linier juga banyak digunakan di berbagai peralatan semikonduktor, seperti mesin bor PCB, robot penanganan wafer semikonduktor, platform pemolesan wafer semikonduktor, pemotongan wafer, pengujian wafer, pengemasan wafer, dll. menganggap bahwa motor linier sudah menjadi bagian penting dari peralatan semikonduktor.
Ringkasan
Dengan pesatnya perkembangan industri semikonduktor, permintaan komponen semikonduktor juga terus tumbuh dengan kebutuhan yang beragam, dan akan ada persyaratan yang lebih tinggi untuk peralatan semikonduktor; motor linier dan tahapan motor telah memberikan kinerja kecepatan tinggi dan pengulangan yang tinggi dalam peralatan semikonduktor, sehingga mendorong pengembangan industri semikonduktor.
