1. alasnya terbuat dari marmer dengan desain modular, kekakuan yang baik dan stabilitas yang baik;
2. mengadopsi motor linier kelas atas dan encoder kisi;
3. mengadopsi sistem umpan balik skala optik tambahan;
4. merakit ke XY lintas tahap;
5. ulangi akurasi hingga ±1um (dalam setiap langkah 500mm);
Total dari 1 halaman
