1. mengadopsi struktur terbuka, yang nyaman untuk dibongkar dan dirawat;
2. built-in kisi atau sistem umpan balik kisi magnetik, resolusinya adalah 0.1um, 0.5um, 1um, 5um untuk opsional;
3. mengadopsi motor linier datar magnet bergerak;
4. ulangi akurasi hingga ±1um;
5. ukuran kecil dan struktur sederhana, yang cocok untuk beban ringan dan acara presisi tinggi;
6. dengan cepat merakit ke XY lintas tahap;
